产品标准:Q/JX 001-2015
序号 | 项目 | 指标 | |||
HHP-Ⅰ | HHP-Ⅱ | HHP-Ⅲ | HHP-Ⅳ | ||
1 |
含量(%)≥ |
30,35 |
30,35 |
30,35 |
30,35 |
2 |
稳定度,%≥ |
98 |
98 |
98 |
98 |
3 |
不挥发物,ppm ≤ |
30 |
20 |
20 |
10 |
4 |
酸度/以H2SO4计,ppm ≤ |
50 |
30 |
30 |
30 |
5 |
总有机碳(TOC),ppm,≤ |
50 |
40 |
20 |
10 |
6 |
pH值 |
1-4 |
2-4 |
2-4 |
2-4 |
7 |
氯化物(Cl),ppb,≤ |
500 |
500 |
200 |
200 |
8 |
硫酸盐(SO4),ppb,≤ |
2000 |
2000 |
200 |
200 |
9 |
磷酸盐(PO4),ppb,≤ |
2000 |
2000 |
- |
- |
10 |
砷(As),ppb,≤ |
50 |
20 |
5 |
1 |
11 |
铅(Pb),ppb,≤ |
50 |
50 |
10 |
1 |
12 |
锡(Sn),ppb,≤ |
50 |
50 |
10 |
1 |
13 |
铁(Fe),ppb,≤ |
100 |
100 |
10 |
1 |
14 |
铜(Cu),ppb,≤ |
20 |
20 |
10 |
1 |
15 |
镍(Ni),ppb,≤ |
50 |
10 |
10 |
1 |
16 |
锰(Mn),ppb,≤ |
50 |
50 |
10 |
1 |
17 |
铬(Cr),ppb,≤ |
20 |
20 |
10 |
1 |
18 |
铝(Al),ppb,≤ |
500 |
100 |
10 |
1 |
19 |
镉(Cd),ppb,≤ |
50 |
50 |
10 |
1 |
20 |
钛(Ti),ppb,≤ |
100 |
50 |
10 |
1 |
21 |
锌(Zn),ppb,≤ |
100 |
50 |
10 |
1 |
22 |
锑(Sb),ppb,≤ |
20 |
20 |
5 |
1 |
23 |
钠(Na),ppb,≤ |
500 |
100 |
10 |
1 |
24 |
钾(K),ppb,≤ |
200 |
100 |
10 |
1 |
25 |
钙(Ca),ppb,≤ |
200 |
100 |
10 |
1 |
26 |
镁(Mg),ppb,≤ |
100 |
50 |
10 |
1 |
27 |
颗粒数/mL ≤ |
≥1μm,≤25 |
≥0。5μm,≤25 |
≥0。5μm,≤25 |
≥0.5μm,≤25 |
超净高纯电子级过氧化氢是微电子行业中一种十分重要的高纯试剂,主要用作半导体硅晶片清洗剂,蚀刻剂和光刻胶去除剂,还可用于高级绝缘层制取,电镀液无机杂质去除,电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理,以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。在处理过程中,试剂中的杂质会对元器件性能产生致命影响,因此,超净高纯过氧化氢对纯度的要求非常苛刻。
包装
根据客户需求,产品有聚乙烯桶、吨槽、槽罐车等多种包装。
注:基于特殊的化学性质,过氧化氢的包装须使用有排气孔的容器。
桶装:200L/桶 吨桶:1000 kg/槽 槽罐车:30吨/车
运输
本品按氧化剂运输规则运输,防止剧烈振摇;
请勿直接用手接触,操作应配戴塑胶手套;
若不慎接触或包装发生泄漏,请用大量水冲净。
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